全氟橡胶O型圈 FFPM
全氟橡胶O型圈 FFPM
(Perfluoroelastomer) 优点:
最佳耐热特性
优异的抗化学特性
低Outgassing 特性
优异之抗Plasma特性
缺点:
耐低温特性较差
原料价格较高
生产难度较高
适用范围:
全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
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