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(Perfluoroelastomer) 优点:
  最佳耐热特性
  优异的抗化学特性
  低Outgassing 特性
  优异之抗Plasma特性
缺点:
  耐低温特性较差
  原料价格较高
  生产难度较高

适用范围:

  全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。

 

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